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参数 |
AX-LTR3 |
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支持物镜数 |
3 |
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物镜切换时间 |
1-2 200ms |
1-3 300s |
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驱动方式 |
管状直线电机 |
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运动导向方式 |
防爬行交叉滚子导轨 |
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位置反馈 |
绝对式光栅尺 |
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重复定位精度 |
±0.1μm |
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位置稳定性 |
±50nm |
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自重 |
1.7kg |
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最大负载 |
1.2kg |
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额定电压 |
24V |
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额定电流 |
1.2A |
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13655559489 （孙经理）