安迅精密  2022-02-09

近日，安徽省经济和信息化厅公布了2022年第二批安徽省首台套重大技术装备名单。

安迅精密自主研发的“高精度XY轴直驱定位平台”凭借其先进技术通过认定，获得“安徽省首台套重大技术装备”荣誉称号。

荣誉产品

高精度XY轴定位平台是集成电路的制造加工、贴片封装装备，高精加工装备和超微科学装置的关键支撑，能广泛应用于装备制造、无损检测、芯片检测、AOI检测、晶圆切割、3C电子封装等高精尖领域，为相关产业提供强有力的技术支撑和定制化国产替代解决方案。

高精度XY轴直驱定位平台

本产品被评为安徽省首台套重大技术装备。产品解决了高精度XY轴定位及运动控制系统设计关键技术问题，实现最大速度≥450 mm/s，平均加速度≥0.6G，单轴重复定位精度≤±1μm（可达±0.6μm）。

相较于国外类似产品，同等指标下在性价比上有明显优势，且能提供更优质的本地化售前售后服务。与国内同行业产品相比，支持定制化需求生产，能够实现高精度的定位控制。

1、灵活 /二次开发环境

自主开发的由直线电机驱动控制硬件，和运动控制算法软件组成的高性能伺服驱动器，提供灵活的二次开发环境。

2、高性能 / 电机动态特性

采用电流环双采样更新技术，提高直线电机响应带宽。

3、 1‰ / 直线电机匀速运动稳定性

设计状态平滑的位置规划策略，结合高带宽的干扰力观测和补偿器设计。

4、高性价比 / 降低成本

通过整体软硬件系统的组合设计，实现了使用国产直线电机运动重复定位精度达1μm以内，大幅度降低成本。

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